(주) 케이알코리아
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반도체 FAB의 안정적인 온도제어를 위한 Dry Cooling Coil 설계·제작·설치를 제공합니다.
Dry Cooling Coil System
반도체 클린룸의 현열 부하를 결로 없이 효과적으로 제거하여
정밀한 온도제어와 안정적인 청정환경을 구현합니다.
반도체 FAB의 순환공기와 신선한 공기가 혼합된 공기를 냉수 ( Chilled Water)로 냉각하여,
결로를 방지하면서 실내 온도조건을 안정적으로 유지하는 고효율 냉각 시스템 입니다.
Dry Cooling Coil (DCC)
반도체 클린룸의 정밀 온도 제어를 위한 냉각 시스템
DCC는 클린룸에서 순환되는 Return Air를 냉수(Chilled Water)로 냉각하여 공정 및 설비에서 발생하는 현열부하를 제거하고, 상부 FFU를 통해 다시 클린룸으로 공급되는 공기의 온도를 정밀하게 제어하는 열교환 장치입니다.
DCC 주요 특징
고청정 환경 대응 현열 냉각 시스템
반도체 FAB의 고현열 부하를 안정적으로 제거하고, 비결로 운전을 통해 정밀하고 청정한 생산환경을 구현합니다.
반도체 생산 설비에서 발생하는 높은
현열 부하를 효과적으로 제거하여 안정적인 실내온도를 유지합니다.
2-Way Control Valve를 이용한 냉수
유량 제어로 부하 변화에 대응하고 실내 온도 편차를 최소화 합니다.
노점온도와 냉수조건을 고려하여 코일 표면의 결로 발생을 억제하고, 고청정
환경에 적합한 냉각을 구현합니다.
현열 부하를 DCC에서 직접 처리하여
불필요한 냉각 및 제습 부하를 줄이고
효율적인 운전이 가능합니다.
적용 분야
